所以没必要等几年后研发出duv光刻机，再推进euv光刻机研发，这样太慢了。

    相反直接立项，两代产品，两代技术，一同研发！

    如此魄力，王逸都很佩服。

    索性道：“euv光刻机的确困难，需要的上下游产业链太多，咱们差得很远。但换个思路，如果euv光刻机不好做，做一个euv光刻厂……会不会容易一点？”

    “euv光刻厂？”秦主任眼睛一亮：“你详细说一说。”

    王逸略微思忖，刚想开口，却被秦主任直接打断：

    “王董，你稍等下，这种严密的技术性问题，我也不在行，可否让我录个视频，回去给专家院士看？”

    “没问题。”王逸摆了摆手。

    “谢谢！”秦主任和蔼一笑，当即拿出星逸xphone 1，打开视频录制：“好了，王董，请继续说。”

    王逸点点头：“众所周知，阿斯麦的euv光刻机之所以厉害，能做到5纳米以下的芯片制程，就是因为它能制造135纳米的极紫外光源，这种光源是未来5纳米以下制程芯片的关键。”

    “而duv光刻机的深紫外光源，最多能制造10纳米芯片。通过多重曝光技术，才能量产7纳米，5纳米。甚至5纳米的良品率都不高，成本却不低。至于5纳米以上的4纳米，3纳米，那更不现实，只能靠euv光刻机的极紫外光源。”

    “同样，我们本质上需要的不是euv光刻机，而是135纳米的极紫外光源！”

    “euv光刻机我们目前造不了，未来难度也很大。但是我们反其道而行，通过其他方式，实现极紫外光源，也能制造出4纳米，3纳米，甚至2纳米，1纳米芯片。”

    “比如我之前提到的光刻厂！”王逸顿了顿，继续道：

    “建一个光刻厂，通过粒子对撞，实现极紫外光源，然后通过光刻厂的模式，实现euv光刻机的效果。”

    ……

    “当然，我并非半导体专业人士，以上内容只是基于我不成熟的想法，随口一说。”

    “能不能实现，我就不知道了。若是不能实现，还请各位大佬海涵。”

    至于能不能实现，他也不知道，但理论上应该可以。

    前世华清大学的euv光刻机，就是要走这个路线，完全不同于阿斯麦的技术路线。

    若是真能实现，直接从根源上避开了阿斯麦的专利。

    毕竟极紫外光源的产生方式都不一样，也就没有侵犯专利这一说了。

    国产技术突破的难度，不只是要做出同样的产品和等效的技术，还要避开西方的专利壁垒，采取完全不同的技术路线。

    这就难上加难了。

    但即便如此，前世依旧把工业皇冠上的明珠，差点全部摘秃噜皮。

    秦主任笑着伸出手：“谢谢，你这些观点很重要，我这就上报。无论如何，都很感谢。”

    “主任言重了，若是我说得不对，你们就当我瞎说，海涵。”

    “呵呵，那不会。科学的探索本就是知无不言，言无不尽。何况是这么别出心裁的建议，意义重大！”

    王逸摆了摆手：“不成熟的想法罢了，希望有点参考价值。光刻机这个东西难，光刻胶也难，都得看国家机器了。”

    秦主任点点头：“放心，光刻胶也是官方大力扶持的领域，必须突破！”

    王逸松了口气，若是这些难题官方都逐步搞定，那就稳了。

    又交流了一番，王逸离开管委会。

    而秦主任则直奔某机要之地，汇报王逸的想法。

    不管成不成的，都是一个新的思路，让院士专家鉴定一下也好。

    不成，可以当做一个思路，有借鉴意义。

    若是成了，那就再好不过，弯道超车都有可能。

    届时，王逸都是大功一件。

    没办法，造晶圆厂可以，研发芯片也可以，但研发光刻机，王逸真办不到。

    太难了。

    只能把自己知道的思路都说了，多少提供点帮助。

    若是光刻机厂建成，国产euv突破，那就再好不过。

    但若是突破不了，也没有办法，只能用duv光刻机多重曝光技术，凑合着来。

    至于国产duv光刻机，现在官方大力扶持，最快也得四五年才能研发成功。

    王逸的晶圆厂一期今年年底就能建好，根本等不了。

    还得先订购阿斯麦的duv光刻机啊！

    阿斯麦的光刻机都得提前一年左右订购。